我公司針對(duì)真空排氣臺(tái)的克隆順利結(jié)束，本系統(tǒng)為超高真空排氣臺(tái)，可用于2個(gè)24英寸對(duì)角線的FED器件進(jìn)行排氣和電封離。 能對(duì)平板顯示器進(jìn)行特性測(cè)試，包括測(cè)試I-V曲線和觀察顯示圖像（觀察窗）�？赏ㄈ霘怏w后進(jìn)行后處理和激活工藝。主要由真空獲得系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、封離系統(tǒng)、自動(dòng)控制及保護(hù)系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)系統(tǒng)等組成。

　　主要技術(shù)指標(biāo)

　　真空系統(tǒng)

　　極限真空1×10－5Pa，正常工作真空優(yōu)于5×10－5Pa，達(dá)到5×10－4Pa小于1小時(shí)

　　排氣工位

　　共8個(gè)排氣工位，橫向間距310mm，縱向間距436mm，每工位均配備高真空隔斷閥，可電動(dòng)控制。在隔熱屏上方有器件支架，方便裝卸大尺寸器件。密封膠圈用水冷保護(hù)，采集水溫?cái)?shù)據(jù)，缺水報(bào)警。

　　充氣系統(tǒng)

　　3路充氣管路，8~200sccm流量控制連續(xù)可調(diào)；可混氣加熱，加熱溫度外部測(cè)試可達(dá)300℃，控溫精度±1℃。

　　電封離

　　每工位均安裝獨(dú)立控制電封離爐，電源功率可保證四工位同時(shí)封離。并提供一套備用封離電源。分升溫、恒溫、降溫三段運(yùn)行，可控電流和時(shí)間。

　　加熱部分

　　烘箱尺寸1500mm×800 mm×300 mm，最高溫度達(dá)500℃，控溫精度±1℃,兩套熱偶控溫系統(tǒng)，烘箱可電動(dòng)升降，烘箱帶觀察窗。加熱板310mm×400mm，獨(dú)立控制，可拆卸，可控可調(diào)，最高加熱溫度500℃。烘箱從300℃自然降溫至100℃不超過3℃/min。

　　烘箱升降

　　烘箱升降電動(dòng)控制，確保運(yùn)行平穩(wěn)、可靠

　　控制系統(tǒng)

　　采用觸摸式一體化機(jī)作為上位機(jī)實(shí)現(xiàn)人機(jī)交互及運(yùn)行參數(shù)的顯示記錄，控制泵及閥門的啟停，顯示并自動(dòng)記錄系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示真空度、溫度、充氣壓強(qiáng)等參數(shù)，手動(dòng)/自動(dòng)切換

　　占地面積

　　長×寬×高：1800mm×1200mm× 2200mm。

　　我公司是專業(yè)的抄板公司，如有項(xiàng)目需要合作請(qǐng)與我公司聯(lián)系。