我公司針對離子刻蝕設(shè)備的抄板圓滿完成，此離子刻蝕設(shè)備具備以下特點(diǎn)：

　　1. 自動工藝配方表，靈活方便的手動調(diào)節(jié)。

　　2. 工藝配方可U盤導(dǎo)入、導(dǎo)出，保證數(shù)據(jù)安全。

　　3. 下游流量控制，確保氣體組分及比例穩(wěn)定。

　　4. 完善的安全控制，通過互鎖及冗余控制，保證系統(tǒng)安全。

　　5. 所有運(yùn)行參數(shù)可監(jiān)控，并生成報表，以供追溯分析。

　　6. 整機(jī)采用無油部件，可應(yīng)用于凈化間。

　　7. 全自動控制解決方案，可實(shí)現(xiàn)一鍵到底式操控體驗(yàn)。

　　8. 自動控制與手動操作一體化設(shè)計，無縫銜接。

    主要技術(shù)指標(biāo)：

　　可加工尺寸 5英寸

　　基片臺冷卻 水冷+氦氣背冷

　　可刻蝕材料 硅基材料及金屬

　　腔室尺寸 225mm譎350mm

　　真空系統(tǒng) 620L/S分子泵+8L/S干泵

　　極限真空 5.0×10-4Pa

　　電源系統(tǒng) 13.56MHz、1000W射頻電源，自動匹配、自動控制；13.56MHz、500W射頻電源，自動匹配、自動控制

　　壓力控制 MKS壓力控制系統(tǒng)、下游流量控制

　　氣路 6路流量控制器，全自動控制、全自動現(xiàn)實(shí)并記錄流量參數(shù)

　　控制系統(tǒng)一體化工業(yè)控制器

　　系統(tǒng)軟件 ICP定制控制軟件

　　報警及保護(hù)對電極缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警并保護(hù)

　　我公司抄板實(shí)力雄厚，如有需要請致電我公司商務(wù)中心洽談業(yè)務(wù)。